傳統(tǒng)的機(jī)械零件由于受加工設(shè)備的限制，對(duì)精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級(jí)。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對(duì)機(jī)械零件的加工精度要求開(kāi)始向納米量級(jí)邁進(jìn)，設(shè)備加工精度的提高帶動(dòng)檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測(cè)手段包括接觸式和2D方式的檢測(cè)方法對(duì)檢測(cè)納米量級(jí)精度的機(jī)械零件有很大的局限性。

　　ZYGO輪廓測(cè)量?jī)x在機(jī)械加工中的應(yīng)用

　　光學(xué)輪廓儀最初應(yīng)用在光學(xué)加工行業(yè)時(shí)，其3D、高速、精密、可靠和穩(wěn)定，開(kāi)始引起加工人士的注意并開(kāi)始應(yīng)用。ZYGO光學(xué)輪廓儀已在汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)噴油嘴、半導(dǎo)體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標(biāo)定等方面有大量的應(yīng)用。ZYGO的MetroPro?分 析軟件中的一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機(jī)械加工檢測(cè)中呈現(xiàn)出新的應(yīng)用。